微光成像

微光成像

什么是微光成像?

半导体显微学应用中的微光成像 可用于探测微弱的辐射。 这种技术也称为光子辐射显微学或 电致发光成像。 一般来说,电致发光是由于电刺激而引发的光子辐射。

微光成像有哪些用途?

光子辐射显微学通常使用SWIR摄像机完成。 在SWIR波段,其是用于微电子故障分析故障定位的成熟技术。

如何定位故障?

通过使用多种不同的技术隔离故障装置模具上的缺陷区域,即可进行故障定位。 这是微电子分析中一个非常关键的步骤,其可最大程度上减少需要分析的面积。 然后,定位后的缺陷通过一个视图显示,以进一步了解故障机制。

什么原因引起光子辐射?

光子辐射可能由半导体中以下缺陷类型引起:

  1. 热电子或热空穴
  2. 化学杂质
  3. 深阱
  4. 物理缺陷

缺陷位置的光子辐射通常与饱和或电介质故障中的正向和反向乖离pn接头、晶体管有关。

我们的产品/服务

我们专门设计了Cougar-640系列用于此应用。 这款高度灵敏的SWIR摄像机具有640 x 512像素的高分辨率和20 μm像素大小。 因为 其LN2制冷功能以及且专门 设计的SFD ROIC,Cougar-640可达到的 读取 噪音 约为 20 e-,而其暗电流小于20 e-/s。 这个特点可允许用户 获得长达数小时的曝光时间, 并且让最低水平的微光探测成为可能。 

除了 Cougar-640之外,我们还可提供Xeva-1.7-320 TE3以及Cheetah-640CL TE3, 以用于微光成像。 

 

需要什么样的功能?

  • 高灵敏度
    为了在微光条件下获得最佳图像质量,低噪音和低暗电流至关紧要
  • 长曝光时间
    在探测微光信号时,需要长曝光时间(长达数小时)
  • 低读出噪音
    低读出噪音可获得较高的微光信号灵敏度
  • TE制冷器(3段式)或液氮(LN2)制冷
    制冷型SWIR摄像机具有更低的暗电流,可达到更低的噪音水平,并具有较高的动态范围。 我们可提供TE3和LN2制冷摄像机

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新闻发布
Xenics at Vision 2012: Cougar-640 SWIR camera is LN2-cooled for lowest noise and dark current We demonstrate the Cougar-640 LN2-cooled SWIR camera at Vision 2012. This camera is perfectly suited for extreme low-light-level applications (2012)
应用笔记
Xeva-1.7-320-TE3 for low light level imaging The Xeva-1.7-320-TE3 camera can be used in a wide variety of applications. This application note goes deeper into detail on photon emission microscopy and photon emission analysis.
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Versatile infrared analysis and reporting software

The Xeneth user interface is common to all the Xenics cameras. This makes it easy for customers to apply their familiarity with this comprehensive product to any new applications, covering wide ranging capabilities in various parts of the IR spectrum.

Learn it once and apply it over and over again.

Karl Niedermeyer, President, Spectro Associates, Inc.